
Technologische Anlagen Anlagen Wafertechnologie Seite 58 von 60
4.3 Anlagen Wafertechnologie
Ätzbank
Hersteller: Equidec GmbH
• automatische Anlage
• Ätzen von Siliziumscheiben
• Schnittstellen für Steuerung und Datenaustausch
• automatische Ansteuerung und Überwachung mittels
SPS
• Bedienpult mit grafischer Darstellung
• grafische Steuerung und Überwachung der Anlage über
ein Ethernet (TCP/IP); E-mail-Versendung bei Störungen
der Anlage
• Rezeptmanagement und weitere Funktionen über Inter-
net/Intranet möglich
Reinigungsbank
Hersteller: Equidec GmbH
Dunkelkammer
Hersteller: Equidec GmbH
Inspektionskammer für 300 mm Siliziumscheiben
Ionisatoren AEROBAR NILSTAT mit Kontrolleinheit
Hersteller: Ion Systems
Datenblatt unter: http://www.apz-ilmenau.de/index.php?id=3343
Inventarnummer: TA-00032
CMP nTREPID
Hersteller: Strasbaugh
“Haze Free Polishing” von 300 mm Siliziumscheiben
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