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Technologische Anlagen Anlagen der Hybrid- und Lasertechnik Seite 52 von 60

Laser-Trimmsystem LS-9000TD

Hersteller: Laser Systems GmbH

Laser-Trimmsystem für passiven und aktiven A/jointfilesconvert/288675/bgleich von

Widerständen in Dick- und Dünnfilmschaltungen

• Q-Switch Nd:YAG-Laser, diodengepumpt

• Wellenlänge 1064nm

• programmierbare Leistungseinstellung von 0-100 %

• Puls Spitzenleistung 25 kW

• Pulslänge <=30ns bei 1kHz

• Ausgangsleistung 3Watt

• Pulswiederholfrequenz im Bereich von 0,1-50 kHz pro-

grammierbar

• manuell einstellbare Erstimpulsunterdrückung

• stabile Ausgangsleistung

wartungsarmes Lasersystem

• Galvanometerablenksystem zum Erreichen hoher Ge-

schwindigkeiten

• Feldgröße => 110 x 110 mm

• Auflösung <=1µm

• Wiederholgenauigkeit <=5µm

• Spotdurchmesser < 40µm, optional < 20µm (Wechsel

der Optik durch eigene Techniker)

wartungsfreies Galvanometerablenksystem

• linearmotorgetriebener Step- und Repeattisch

• Auflösung <=0,5µm

• Wiederholgenauigkeit <=+/-0,5µm

• Linear-Glasmaßstab

• Verfahrbereich => 200mm x 200mm

• hohe Beschleunigung (>8 m/s²)

• Drehverstellung zum Ausgleich von Winkeltoleranzen

• Verstellbereich => +/- 5°

• Winkelauflösung <= 0,12''

• Kontaktiereinheit zur wahlweisen Verwendung von Pro-

bekarten und Nadeladaptern

• Auflösung Heben/Senken <=10µm

• Maximalhub =>20mm

• Probekartengröße 6''

• Messstellenumschalter für mindestens 40 Messstellen

• frei wählbare Messstellen mit Mehrfachbelegung

• freie Zuordnung zwischen Messstelle und intenes/ exter-

nes Messgerät

• Kelvinkonzept

• ausbaubare Anzahl der Messstellen

• Schaltzeit <=1,5ms

• IEC-Bus zum Anschluss externer Messinstrumente

Integriertes Kamerasystem zur Einrichtung und Beobachtung

• CCD-Kamera

• monochromatische Beleuchtung

• Zoomfunktion

• Bildverarbeitungssystem

• Flächen- und Kantenfindung

• Zoombarer Bildeinzug

• Ganzfeldeinzug für Einrichtbetrieb

• Produkt zugeordnete Bildeinzugsparameter

• Komplett automatisches Einfahren des Produktes über

Step- und Repeat, Drehverstellung und Galvanometerab-

lenksystem möglich

• flexible Software mit möglicher Softwarefernwartung

• keine Hochsprachenkenntnisse erforderlich

• Einbindung von externen Programmen möglich

• integrierte Statistikfunktion

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